2015年7月教育部批準(zhǔn)中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)籌建國家示范性微電子學(xué)院，2015年12月正式成立。目前由中國工程院院士，吳漢明兼任微電子學(xué)院院長。

學(xué)院借鑒國際先進(jìn)經(jīng)驗，建立創(chuàng)新運行管理體制，基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究并重，解決微電子領(lǐng)域國家重大需求和學(xué)科前沿問題，力爭建設(shè)成為國際一流的微電子領(lǐng)域高層次科技人才培養(yǎng)基地、微電子技術(shù)的研究開發(fā)基地和國際化交流平臺。學(xué)院堅持中國科大“理實交融”辦學(xué)方針，以面向新興需求、側(cè)重前沿創(chuàng)新、教育質(zhì)量第一為建院宗旨。積極與研究所、國內(nèi)外知名高校和企業(yè)合作，全力培養(yǎng)本科生、學(xué)術(shù)研究生和工程研究生，在產(chǎn)教融合、產(chǎn)學(xué)合作、協(xié)同育人方面做出示范，為微電子行業(yè)提供高端人才，5-10年內(nèi)建成有國際影響力、國內(nèi)一流的微電子領(lǐng)域本科專業(yè)和碩士/博士學(xué)位授權(quán)學(xué)科。

微電子學(xué)院現(xiàn)有“電子科學(xué)與技術(shù)”一級學(xué)科博士學(xué)位授權(quán)點，以及“集成電路工程”碩士、博士學(xué)位授權(quán)點。開展本、碩、博全過程人才培養(yǎng)。

學(xué)院的研究方向聚焦于新原理/新材料器件、集成電路設(shè)計、微機電系統(tǒng)、生物醫(yī)學(xué)電子、存-算融合計算架構(gòu)和芯片、量子計算芯片等，以及相關(guān)交叉領(lǐng)域。在師資隊伍建設(shè)發(fā)展方面，依照學(xué)校的人才引進(jìn)和管理政策，積極從國內(nèi)外引進(jìn)高端和優(yōu)秀青年人才。學(xué)院將在近5年內(nèi)組建一支包含高層次人才在內(nèi)的60人左右的專職教師隊伍，其中正高教師30人，造就一支國際上具有影響力的微電子研究隊伍。

微電子學(xué)院目前分布于中國科大西區(qū)、北區(qū)、東區(qū)，將于2022年前后搬遷入駐中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)高新校區(qū)，規(guī)劃建有一流標(biāo)準(zhǔn)的教室、實驗室和設(shè)施齊全的生活區(qū)，包括面積達(dá)到5000平方米的超凈實驗室及先進(jìn)齊全的微電子工藝和測試分析設(shè)備。其中超凈實驗室將與合肥微電子研究院聯(lián)合建設(shè)，共享場地和工藝、測試設(shè)備。